蔡司三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)主機(jī)結(jié)構(gòu)主要分為：

蔡司三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)主機(jī)結(jié)構(gòu)主要分為：

1、框架：是測(cè)量機(jī)的主體機(jī)械結(jié)構(gòu)架子。

2、標(biāo)尺系統(tǒng)：是測(cè)量機(jī)的重要組成部分，是決定儀器精度的一個(gè)重要環(huán)節(jié)。三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)所用的標(biāo)尺有光柵尺、感應(yīng)同步器、磁尺及光波波長(zhǎng)等。

3、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)導(dǎo)軌：是測(cè)量機(jī)實(shí)現(xiàn)三維運(yùn)動(dòng)的重要部件。測(cè)量機(jī)多采用滑動(dòng)導(dǎo)軌、滾動(dòng)軸承導(dǎo)軌和氣浮導(dǎo)軌，而以氣浮靜壓導(dǎo)軌為主要形式。氣浮導(dǎo)軌由導(dǎo)軌體和氣墊組成，有的導(dǎo)軌體和工作臺(tái)合二為一。氣浮導(dǎo)軌還包括氣源、穩(wěn)壓器、過濾器、氣管、分流器等一套氣體裝置。

4、驅(qū)動(dòng)裝置：是三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的重要運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，可實(shí)現(xiàn)機(jī)動(dòng)和程序控制伺服運(yùn)動(dòng)的功能。在測(cè)量機(jī)上一般采用的驅(qū)動(dòng)裝置有滾動(dòng)輪、鋼絲、齒形帶、齒輪齒條、光軸滾動(dòng)輪等傳動(dòng)，并配以伺服馬達(dá)驅(qū)動(dòng)。直線馬達(dá)驅(qū)動(dòng)正在增多。

5、平衡部件：主要用于Z軸框架結(jié)構(gòu)中。它的功能是平衡Z軸的重量，以使Z軸上下運(yùn)動(dòng)時(shí)無偏得干擾，使檢測(cè)時(shí)Z向測(cè)力穩(wěn)定。

6、轉(zhuǎn)臺(tái)與附件：轉(zhuǎn)臺(tái)是測(cè)量機(jī)的重要元件，它使測(cè)量機(jī)增加一個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)運(yùn)動(dòng)的自由度，便于某些種類零件的測(cè)量。高精密加工，復(fù)合機(jī)器人，機(jī)床檢測(cè)服務(wù)